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德國(guó)osiris熱板:HOTPLATES

簡(jiǎn)要描述:德國(guó)osiris熱板:HOTPLATES,專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì),可適用最大 200/300 或 450mm的基材,具有真空通道用于基板固定。

  • 產(chǎn)品型號(hào):UNIXX-SERIES
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-05-17
  • 訪  問  量:563

詳細(xì)介紹

德國(guó)osiris熱板:HOTPLATES

設(shè)計(jì)用于以下應(yīng)用

SOFTBAKE(預(yù)烘烤)、HARDBAKE、

HMD(六甲基二硅氮烷)可選:蒸汽灌注、真空干燥


特點(diǎn):

1.單面烘烤模塊

2.不同的基材系統(tǒng):最大 200/300 或 450mm

3.電子或氣動(dòng)頂銷

4.具有不同頂部插入件的不銹鋼舉升銷

5.控制器單元:半自動(dòng)或手動(dòng)

6.真空通道用于基板固定

7.集成式排煙

8.可選的:

  - 氮?dú)獯祾撸∟2) - 提升銷用于邊緣處理

9.專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)


1.UNIXX HvT20

(直徑200mm)用于HMDS底漆和真空脫水烘烤的臺(tái)式加熱板工具。

(可臺(tái)式或獨(dú)立式)


2. UNIXX HeT20

(直徑200mm)帶電子驅(qū)動(dòng)提升銷的臺(tái)式加熱板工具。

(或安裝在臺(tái)上


3.UNIXX HpT20

(直徑200mm)帶有氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)提升銷的臺(tái)式加熱板工具。

(或臺(tái)式)




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