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薄膜厚度監(jiān)測儀

簡要描述:MTM-10 &MTM-20 高分辨率薄膜厚度監(jiān)視器
僅適用于Cressington Sputter和Carbon Coaters
高分辨率厚度監(jiān)視器和厚度控制器基于以下原理:石英晶體的振蕩頻率由其上表面上的沉積膜的質(zhì)量改變。電子測量該效果允許確定沉積膜的厚度。一旦將蒸發(fā)的材料的密度輸入系統(tǒng),就在范圍為0-999.9納米的四位LED顯示器上測量厚度為0.1nm的分辨率。

  • 產(chǎn)品型號:MTM-10 &MTM-20
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-05-17
  • 訪  問  量:1278

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MTM-10 &MTM-20 高分辨率薄膜厚度監(jiān)視器
僅適用于Cressington Sputter和Carbon Coaters


高分辨率厚度監(jiān)視器和厚度控制器基于以下原理:石英晶體的振蕩頻率由其上表面上的沉積膜的質(zhì)量改變。電子測量該效果允許確定沉積膜的厚度。一旦將蒸發(fā)的材料的密度輸入系統(tǒng),就在范圍為0-999.9納米的四位LED顯示器上測量厚度為0.1nm的分辨率。

 

MTM-10高分辨率厚度監(jiān)視器

確保厚度控制的經(jīng)濟(jì)方法
如果不是不可能的話,在沉積期間精確地手動控制膜厚度是困難的。有時(shí)使用帶有一滴油的白色瓷磚來粗略估計(jì)碳的涂層厚度,但是當(dāng)需要重復(fù)的,可再現(xiàn)的涂層時(shí)不能使用。使用儀器設(shè)置也不是一種準(zhǔn)確的方法,因?yàn)檎婵账剑ㄓ糜跒R射)和時(shí)間(用于蒸發(fā))是非常關(guān)鍵的參數(shù)。高分辨率厚度監(jiān)視器提供涂層厚度的可重復(fù)性,消除猜測并且方便。使用加工因子可以精確測量薄膜。
MTM-10高分辨率厚度監(jiān)測儀適用于任何Cressington濺射和碳涂層系統(tǒng)。

系統(tǒng)包括:

MTM-10控制器盒

BNC電纜/ BNC彎頭

振蕩器盒

CS-108真空饋通,帶BNC / SMB連接器和集成O形密封圈

水晶支架電纜7“/ 108mm
水晶支架,M4螺釘尺寸ø19x20mm高。水晶面積ø6mm

 

 

 

MTM-20高分辨率厚度控制器

MTM-20高分辨率厚度控制器專為Cressington濺射涂布機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì),與108auto108auto / SE208HR濺射涂布機(jī)系統(tǒng)*兼容。

 

 

MTM-10高分辨率厚度監(jiān)視器和
MTM-20高分辨率厚度監(jiān)視器規(guī)格
一般規(guī)格:基于微處理器的4位數(shù)顯示,按鈕為零
6MHz晶振,帶有壽命檢查
每秒5次更新率
厚度范圍:0 999.9nm(POS / NEG
解析度:0.1nm用于金或碳
密度范圍:30.00g / CC 0.50
工具系數(shù)范圍:0.25 - 8.0
真空饋通:CS 108;直徑10mm,板材/法蘭厚度為9mm。
水晶架:不銹鋼ø19x20mm。M4螺紋孔,用于安裝,1/2“尺寸的晶體
水晶架電纜:Mini-SMB,母/母之間的水晶支架和CS-108真空穿通裝置
處理器功能:對于MTM-10MTM20,四組值可以存儲在密度下的存儲器中,四組可以存儲在工具下
MTM-20控制器:僅限MTM-20:可編程厚度端接功能,帶終端接口電纜,108自動,208HRDC-100
終端設(shè)備范圍為0-999.9nm
MTM-10/20盒尺寸210 x 160 x 77毫米(8.27英寸x 6.3英寸x 3.03英寸)

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