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A4P四點(diǎn)探針自動(dòng)電阻率測(cè)繪系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:A4P四點(diǎn)探針自動(dòng)電阻率測(cè)繪系統(tǒng)

A4P系列晶圓電阻率映射器使用經(jīng)過驗(yàn)證的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),可以快速,準(zhǔn)確,可靠地測(cè)量樣品電阻率分布。MicroXact的四點(diǎn)探針通過使電流通過四點(diǎn)探頭的外部點(diǎn)并測(cè)量?jī)?nèi)部點(diǎn)的電壓來測(cè)量半導(dǎo)體晶圓層的平均電阻。然后可以通過將薄層電阻乘以薄膜的厚度來找到電阻率的值,即賦予其電阻的材料的性質(zhì)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):A4P系列
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-05-16
  • 訪  問  量:1722

詳細(xì)介紹

A4P四點(diǎn)探頭采用100mm150mm,200mm300mm系統(tǒng),無需維護(hù)且易于使用。該系統(tǒng)有多種選擇,包括寬范圍熱測(cè)試,非標(biāo)準(zhǔn)材料的定制卡盤和幾乎適用于任何應(yīng)用的4點(diǎn)探針。

電阻率測(cè)量自動(dòng)化軟件

A4P-200-PLUS自動(dòng)化軟件允許使用電阻率測(cè)繪系統(tǒng)進(jìn)行半自動(dòng)或全自動(dòng)測(cè)試。該接口設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單但功能強(qiáng)大,允許用戶輕松設(shè)置幾乎任何類型晶圓結(jié)構(gòu)的自動(dòng)測(cè)試程序?;?/span>LabView的軟件采用邏輯結(jié)構(gòu),可輕松集成客戶自己的測(cè)試和測(cè)量設(shè)備。該軟件可以安裝在任何裝有Windows XP或更高版本操作系統(tǒng)的PC上。

A4P四點(diǎn)探頭功能

系統(tǒng)提供快速,準(zhǔn)確的測(cè)量并且非常用戶友好。

直觀的基于LabView的開源軟件提供各種數(shù)據(jù)處理選項(xiàng)以及結(jié)果的二維和三維映射。

可以表征的各種材料和結(jié)構(gòu)。

寬電阻率測(cè)量和薄層電阻范圍。

溫度范圍:從低于-60°C到超過300°C。

可選擇1種,5種,9種,25種,49種或121種測(cè)量模式以及自定義電阻率測(cè)量模式。

可調(diào)式真空吸盤適用于5mm300mm的樣品尺寸。

ASTM,SEMI或簡(jiǎn)單輸出的快速測(cè)量模式。

點(diǎn)擊或點(diǎn)擊或直接坐標(biāo)輸入晶圓導(dǎo)航。

Jandel探頭兼容。

該系統(tǒng)的真空或受控環(huán)境版本可用于擴(kuò)展溫度測(cè)試的電阻率測(cè)試。

 

自動(dòng)化軟件功能

在大多數(shù)情況下,所有自動(dòng)化,測(cè)量和數(shù)據(jù)采集都可以通過在簡(jiǎn)單的筆記本電腦上運(yùn)行的軟件包進(jìn)行管理。

不需要昂貴的硬件。

軟件允許用戶生成測(cè)量圖案圖。

軟件允許用戶生成結(jié)果的2D3D地圖。

軟件輸出電阻和電阻率或厚度測(cè)量值。

軟件輸出電阻和電阻率或厚度測(cè)量值。

軟件內(nèi)置了熱卡盤的*控制,允許復(fù)雜且高度可定制的測(cè)試序列。

該軟件是開源的,客戶可以對(duì)其進(jìn)行定制以滿足任何特定需求。

MicroXact團(tuán)隊(duì)與客戶一起努力,盡快開發(fā)出的自動(dòng)化解決方案。

 

A4P 4點(diǎn)探頭規(guī)格

A4P-200-TC

以下規(guī)格適用于標(biāo)準(zhǔn)配置。在大多數(shù)情況下,每個(gè)A4P 4點(diǎn)探針系統(tǒng)都可以定制,以超過這些值。

晶圓尺寸                 高達(dá)300mm

真空吸盤                  多區(qū)真空

兼容的探頭                Jandel探頭

饋通終端                  BNC,Triax或香蕉插頭

自動(dòng)化軟件                基于LabView,與Windows兼容

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