近年來(lái),NXQ4006光刻機(jī)在超精密加工、生物工程、半導(dǎo)體加工等領(lǐng)域中,對(duì)平臺(tái)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)控制精度的要求越來(lái)越苛刻,超精密運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)也正在受到特別的重視。
那么在使用NXQ4006光刻機(jī)使用時(shí)要注意哪些：
NXQ4006光刻機(jī)在使用的時(shí)候要注意：
1、請(qǐng)?jiān)陂_(kāi)啟NXQ4006光刻機(jī)之前對(duì)每個(gè)部位的螺絲進(jìn)行檢查防止NXQ4006光刻機(jī)在運(yùn)行過(guò)程中螺絲松動(dòng)造成部件損壞。
2、請(qǐng)?jiān)贜XQ4006光刻機(jī)開(kāi)機(jī)前對(duì)運(yùn)動(dòng)部位進(jìn)行加油,目的使NXQ4006光刻機(jī)在運(yùn)動(dòng)中得到很好的潤(rùn)滑,從而延長(zhǎng)了NXQ4006光刻機(jī)的使用壽命。
3、、請(qǐng)?jiān)陂_(kāi)啟NXQ4006光刻機(jī)之前先手動(dòng)送簽。
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